スクエアポケット

材質：Si、石英、SiC、Al₂O₃ 99.5%

ウェハーサイズ：6インチ

ウェハ直径：150±0.2mm

ウェハ厚さ：675±25μm

ポケット深さ：250～300μm

オプション：貫通穴加工、クリーンパック