石英ウェハー

直径                4"            5"                6"

厚さ (μm)      500          625             675

材質　　　　  Crystal Quartz

グレード          Optical, SAW 

ポリッシュ   DSP/SSP

TTV (μm)                <10         <10              <15

Bow/Warp (μm)      <40         <40             <60

Top Side Ra (μm)   <1