マルチポケット
材質：Si、石英、SiC、AlN、Al₂O₃ 99.5%
6インチウェハー、2インチポケットｘ4
ウェハーサイズ：6インチ
ウェハ直径：150±0.2mm
ウェハ厚さ：675±25μm
ポケットサイズ：2インチ
ポケット深さ：250μm
8インチウェハー、2インチポケットｘ8
ウェハーサイズ：8インチ
ウェハ直径：200±0.2mm
ウェハ厚さ：725±25μm
ポケットサイズ：2インチ
ポケット深さ：300μm
8インチウェハー、3インチポケットｘ4
ウェハーサイズ：8インチ
ウェハ直径：200±0.2mm
ウェハ厚さ：725±25μm
ポケットサイズ：3インチ
ポケット深さ：300μm
オプション：貫通穴加工、クリーンパック