セラミックウェハー

直径

4"

5"

 6"

 8"

厚さ (μm)

500

625 

675

750

材質

 Al₂O₃ 99.5% AIN

 Al₂O₃ 99.5% AIN

 Al₂O₃ 99.5% AIN

 Al₂O₃ 99.5% AIN

TTV (μm)

<15

<15

<15

<15

Bow/Warp (μm)

<40

<40

 <60

<80